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Micro electro mechanic system

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Exposés (1)  Titre        Date 
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Le monde étonnant des MEMS
Patrick Tabeling
17/05/2002
Conférence donnée dans le cadre du colloque organisé par le Département de physique de l’École Polytechnique et l’École normale supérieure, avec l’aide de l’Union des Professeurs de Spéciales et à l’intention des Professeurs de Physique et Chimie de...
Mots-clefs: Micro electro mechanic system, microfluidique